美国相干公司推新款Monaco紫外飞秒激光器 可靠性更高

  器，具有极佳的能量稳定性以及最小的热影响区（HAZ），可在微电子范畴完成高通量、高精度的切开、划线和钻孔等。这种特性适用于OLED切开、晶圆切开、薄聚合物薄膜和薄膜的切开、柔性电路和低介电常数资料的加工等。

  尽管UV（345 nm）飞秒激光器比其他超短脉冲激光器具有更低的热影响区，但由于其可靠性无法令人满意，它们在工业商场的布置速度现已怠慢。相比之下，Monaco紫外飞秒激光器则选用了相干公司其他高可靠性超快和紫外激光器中选用的严厉的HALT / HASS规划、制作和测验办法。它是第一款能够将热影响区下降3倍以上的紫外飞秒激光器，一起供给了相干公司标志性的工业级可靠性。

  除了超卓的可靠性外，Coherent Monaco紫外飞秒激光器的输出还通过专门规划，可供给脉冲能量和重复率（脉冲重复频率为1.25 MHz时，周期为20μJ/脉冲）的最佳组合，最适合常用资料的烧蚀阈值。这使其可提高产值，一起还能供给比其他激光器更低的每瓦本钱。并且，该单片式Monaco紫外飞秒激光器也是最紧凑（长度为963 mm，宽度为358 mm，高度为175 mm）的工业级飞秒紫外解决方案，简化了体系构建商的集成工序。

  此外，Monaco紫外飞秒激光器还选用了与Monaco系列其他产品相同的强壮软件界面，使体系集成商和最终用户都能够轻松的运用该新式激光器。

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